光刻机,是制造芯片的核心装备,不仅价格昂贵,而且制造难度极高。目前,在光刻机领域,排名靠前的是欧美企业,比如荷兰阿斯麦尔公司。不少人好奇,中国的光刻机能生产吗?现在是多少纳米的?下面,一起来了解一下吧。

中国的光刻机能生产吗

芯片制造

必须承认的是,在光刻机方面,中国目前被“卡脖子”。为此,我国于2008年开始攻关,并专门成立了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”。在多年的努力下,上述项目在部分领域取得成绩。

除了国家队,国内企业也在努力。据上海微电子设备公司日前消息,该公司采用国产以及日本零部件研发的28nm第二代深紫外(DUV)光刻机有望在今年4季度实现交付。相信在国家的重视及支持下,国产光刻机将会取得重大突破。