此前中芯国际向荷兰ASML订购EUV光刻机,截止现在EUV光刻机还没运往大陆,那么EUV光刻机到底何时交付呢?近日,该公司中国区总裁沈波透露,向中国大陆出口光刻机持开放态度,出口EUV光刻机还在等荷兰政府允许。

刻光机制造芯片

刻光机制造芯片

沈波表示,公司对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。沈波透露,2020年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20不过最高端的EUV光刻机,没有一台出口到大陆。

根据公开资料,ASML是全球光刻机企业,也是唯一能生产极紫外光源(EUV)的公司。EUV光刻机可用于生产7nm以下的先进制程的芯片。据悉,中芯国际几年前订购的EUV光刻机还一直没有着落,外界质疑背后是美国政府在捣鬼。