光刻机又名光刻系统,它是制造芯片必须的核心装备。要想制造先进工艺的芯片,就必须依靠先进光刻机的支持。很不幸,目前中国无法制造先进光刻机,全球最先进的高端光刻机是EUV光源,这种光刻机只有荷兰的ASML公司能够制造。

芯片制造

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据悉,ASML是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商,年产量为40余台。EUV光刻机的价格昂贵,每台要价约1.3亿美元,不过尽管价格昂贵,EUV光刻机还是“有价无市”,全球各国都在抢EUV光刻。

目前全球只有台积电和三星能生产最先进的芯片,台积电拥有近50台EUV光刻机,而三星拥有25台EUV光刻机,这是它们称霸该行业的重要资本。中国要想在芯片制造这方面超越美国,必须在光刻机制造上取得突破。